粒子 2019-01-03 09:15 MOCVD生长AlN改进化学反应模型的数值模拟探究 氮化镓MOCVD化学反应动力学分析及其数值模拟研究的探讨.pdf全文...王丹卢钦时亚茹摘要:针对MOCVD-AlN生长的寄生反应很严重的..